
產(chǎn)品分類(lèi):產(chǎn)品中心
產(chǎn)品簡(jiǎn)介: 鋯螺絲 鋯螺母 鋯標(biāo)準(zhǔn)件 鋯墊片 鋯螺桿 鋯絲桿 鋯絲 鋯直絲 鋯焊絲 牌號(hào):HZr-01 產(chǎn)品描述:為了減少靶材固體中的氣孔,提高濺射薄膜的性能,通常要求靶材具有較高的密度。靶材的密度不僅影響濺射速率,還影響著薄膜的電學(xué)和光學(xué)性能。靶材密...
靶材應(yīng)用:
濺射靶材主要應(yīng)用于電子及信息產(chǎn)業(yè),如集成電路、信息存儲(chǔ)、液晶顯示屏、激光存儲(chǔ)器、電子控制器件等;亦可應(yīng)用于玻璃鍍膜領(lǐng)域;還可以應(yīng)用于耐磨材料、高溫耐蝕、高檔裝飾用品等行業(yè)。
眾昌金屬可為用戶(hù)專(zhuān)業(yè)生產(chǎn)加工各種規(guī)格濺射靶材,純度高、均勻致密,具有優(yōu)良導(dǎo)熱性,從而保證靶材的高效率和高利用率。
靶材分類(lèi):
根據(jù)形狀可分為:方靶、圓靶、異型靶
靶材的主要性能要求
◆純度
純度是靶材的主要性能指標(biāo)之一,因?yàn)榘胁牡募兌葘?duì)薄膜的性能影響很大。不過(guò)在實(shí)際應(yīng)用中,對(duì)靶材的純度要求也不盡相同。例如,隨著微電子行業(yè)的迅速發(fā)展,硅片尺寸由6”、8“發(fā)展到12”,而布線寬度由0.5um減小到0.25um,0.18um甚至0.13um,以前99.995%的靶材純度可以滿(mǎn)足0.35umIC的工藝要求,而制備0.18um線條對(duì)靶材純度則要求99.999%甚至99.9999%。
◆雜質(zhì)含量
靶材固體中的雜質(zhì)和氣孔中的氧氣和水氣是沉積薄膜的主要污染源。不同用途的靶材對(duì)不同雜質(zhì)含量的要求也不同。例如,半導(dǎo)體工業(yè)用的純鋁及鋁合金靶材,對(duì)堿金屬含量和放射性元素含量都有特殊要求。
我公司鎢鉬制品具有熔點(diǎn)高、強(qiáng)度大、壽命長(zhǎng)、耐高溫性能好等特點(diǎn),廣泛應(yīng)用于熱場(chǎng)、真空鍍膜、太陽(yáng)能、藍(lán)寶石晶體、光電子、半導(dǎo)體、特種陶瓷、光源照明、機(jī)械部件、玻璃制造、玻璃纖維,耐火纖維,稀土冶金、工業(yè)窯爐等諸多領(lǐng)域。
玻璃纖維爐用加熱電極材料:鉬板電極, 鉬螺栓, 鉬彎條;
硅酸鋁纖維爐、玻璃電熔窯爐用加熱電極材料:鎢合金棒電極, 鉬棒電極, 鉬流口, 鎢板, 鉬板, 鎢捅針, 鉬捅針;
CTX射線管和旋轉(zhuǎn)陽(yáng)極X射線管:鉬基鎢靶;
稀土冶金行業(yè):鎢棒, 鎢坩堝, 鉬坩堝;
中、高壓開(kāi)關(guān)管電觸頭材料:銅鎢合金, 碳化鎢銅;
真空爐、藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)爐加熱室:鎢坩堝, 鉬坩堝, 鎢隔熱屏, 鉬隔熱屏, 鎢零件, 鉬零件;
鈦、鋯及其合金材料:鈦板, 鈦棒, 鈦管, 鈦絲, 鋯板, 鋯棒, 鋯管, 鋯絲等鈦鋯金屬材料;
鈦、鋯金屬制品:鈦設(shè)備, 鈦鍛件、鑄件, 鋯設(shè)備, 鋯鍛件、鑄件;
公司以“優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品質(zhì)量、優(yōu)秀的經(jīng)營(yíng)服務(wù)”為宗旨,熱誠(chéng)歡迎新老客戶(hù)洽談合作,共同發(fā)展。
咨詢(xún)電話:18690044436 潘經(jīng)理
